Arbeitsgeräte


Die Arbeitsgruppe verfügt über 4 ToF-SIMS/Laser-SNMS-Geräte, die zum Teil im Institut konzipiert, gebaut und aus Drittmitteln finanziert wurden. Mit diesen Geräten können folgende Spezifikation erreicht werden:

  • Massenauflösungen von m/Δm > 10.000 für ToF-SIMS
  • Massen bis zu 10.000 u, Massengenauigkeiten im Bereich von einigen ppm
  • Ortsauflösungen bis zu 80 nm
  • Empfindlichkeiten im ppb- bzw. attomol-Bereich
  • Möglichkeiten zur Kombination mit präparativen und anderen oberflächenanalytischen Methoden

Für die Photoionisierung stehen unterschiedliche Lasersysteme zur Verfügung, die je nach Anwendungsziel für verschiedene Nachionisationsprinzipien, wie z.B. die nichtresonante Multiphotonen-Ionisierung oder die Einphotonen-Ionisierung eingesetzt werden können.

Blick durch das Fenster auf einen Probenhalter
© R. Budell

Cryo-IONTOF M6 Special Edition, Center for Soft Nanocscience (SoN)

Primärionenquellen:      Bi-Nanoprobe Flüssigmetallionenquelle, Auflösung < 70nm
                                            Argon Gas-Cluster-Ionenquelle (5 keV bis 20 keV)
SputterQuellen:              Dual Beam Ionenquelle mit 0.25 keV bis 2 keV für Ar+, Cs+, O2-
                                            Argon Gas-Cluster-Ionenquelle (5 keV bis 20 keV)
Massenspektrometer:  Flugzeitanalystor für eine Massenauflösung bis zu 30000 und
                                           Massengenauigkeit von wenige ppm
Zusatzausstattung:       Programmierbare Temperatur des Probenträgers im Bereich
                                           von -180° C bis 600° C
                                           Tiefkühlbarer Probenträger zur Analyse wasserhaltiger Proben
                                           Schnell rotierende Probenaufnahme für hochauflösende Tiefenprofile

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Kryo-ToF-SIMS/Laser-SNMS

Primärionenquellen:      Bi-Nanoprobe Flüssigmetallionenquelle, Gas-Cluster-Ionenquelle
Massenspektrometer:   gitterloses Flugzeitmassenspektrometer mit erweitertem
                                            Dynamikbereich (EDR)
Lasersysteme:                 193 nm Excimer-Laser für überwiegend nichtresonante
                                            Multiphotonen-Ionisierung (NRMPI)
                                            157 nm Excimer Laser für überwiegend Einphotonen-Ionisierung (SPI)
Zusatzausstattung:       heiz- und kühlbarer Probenhalter, in-Vakuum Kryo-Schnittmaschine zur
                                            Präparation von gefrorenen, nicht-dehydrierten Probensystemen für die
                                            massenspektrometrische Analyse

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ToF-SIMS 2

Primärionenquellen:     Flüssigmetallionenquelle, Sputterquelle
Massenspektrometer:  Reflektron-Flugzeitmassenspektrometer
Zusatzausstattung:       heiz- und kühlbarer Probenhalter

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ToF-SIMS 1

Primärionenquellen:      Flüssigmetallionenquelle, Sputterquelle
Massenspektrometer:   Reflektron-Flugzeitmassenspektrometer

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