Arbeitsgeräte


Die Arbeitsgruppe verfügt über 3 ToF-SIMS/Laser-SNMS-Geräte, die im Institut konzipiert, gebaut und aus Drittmitteln finanziert wurden. Mit diesen Geräten können folgende Spezifikation erreicht werden:

  • Massenauflösungen von m/Δm > 10.000 für ToF-SIMS
  • Massen bis zu 10.000 u, Massengenauigkeiten im Bereich von einigen ppm
  • Ortsauflösungen bis zu 80 nm
  • Empfindlichkeiten im ppb- bzw. attomol-Bereich
  • Möglichkeiten zur Kombination mit präparativen und anderen oberflächenanalytischen Methoden

Für die Photoionisierung stehen unterschiedliche Lasersysteme zur Verfügung, die je nach Anwendungsziel für verschiedene Nachionisationsprinzipien, wie z.B. die nichtresonante Multiphotonen-Ionisierung oder die Einphotonen-Ionisierung eingesetzt werden können.



ToF-SIMS 1

Primärionenquellen:   Flüssigmetallionenquelle, Sputterquelle
Massenspektrometer: Reflektron-Flugzeitmassenspektrometer

TOF-SIMS E1



ToF-SIMS 2

Primärionenquellen:   Flüssigmetallionenquelle, Sputterquelle
Massenspektrometer: Reflektron-Flugzeitmassenspektrometer
Zusatzausstattung:    heiz- und kühlbarer Probenhalter

TOF-SIMS I1



Kryo-ToF-SIMS/Laser-SNMS

Primärionenquellen:    Bi-Nanoprobe Flüssigmetallionenquelle, Gas-Cluster-Ionenquelle
Massenspektrometer:  gitterloses Flugzeitmassenspektrometer mit erweitertem Dynamikbereich (EDR)
Lasersysteme:            193 nm Excimer-Laser für überwiegend nichtresonante
                                 Multiphotonen-Ionisierung (NRMPI)
                                 157 nm Excimer Laser für überwiegend Einphotonen-Ionisierung (SPI)
Zusatzausstattung:     heiz- und kühlbarer Probenhalter, in-Vakuum Kryo-Schnittmaschine zur Präparation
                                 von gefrorenen, nicht-dehydrierten Probensystemen für die
                                 massenspektrometrische Analyse

Kryo-SIMS


Cryo-IONTOF M6 Special Edition, Center for Soft Nanocscience (SoN)


Primärionenquellen:   Bi-Nanoprobe Flüssigmetallionenquelle, Auflösung < 70nm
                                Argon Gas-Cluster-Ionenquelle (5 keV bis 20 keV)
SputterQuellen:         Dual Beam Ionenquelle mit 0.25 keV bis 2 keV für Ar+, Cs+, O2-
                                Argon Gas-Cluster-Ionenquelle (5 keV bis 20 keV)
Massenspektrometer: Flugzeitanalystor für eine Massenaufkösung bis zu 30000 und
                                Massengenauigkeit von wenige ppm
Zusatzausstattung:    Programmierbare Temperatur des Probenträgers im Bereich von -180° C bis 600° C
                                Tiefkühlbarer Probenträger zur Analyse wasserhaltiger Proben
                                Schnell rotierende Probenaufnahme für hochauflösende Tiefenprofile

SoN-TOF-SIMS