AFM

Park Systems XE-100

Entkoppelte X-Y und Z Scanner zur Unterdrückung einer Bildverzerrung

Vermessung Nanoindents, Abtastung von Oberflächenrauhigkeit, Scanning Spreading Resistance Microscopy, Kelvin Probe Microscopy

Keithley 4200 SCS

Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Halbleiterstrukturen

Potentiostat/Galvanostat
mit Korrosionsmesszelle

Metrohm Autolab PGSTAT128N

Module für Impedanzspektroskopie und Temperaturmessungen / pH-Messungen

Elektrochemische Korrosionsuntersuchungen

Spreading Resistance Profiler
ASR - 100B

SOLID STATE MEASUREMENT INC

Tiefenaufgelöste zwei Spitzen-Widerstandsmessung zur Ermittlung von Dotierstoffprofilen in Halbleitern

Wasserstoffpassivierungsanlage

Erzeugung eines Wasserstoffplasmas zur Passivierung elektrisch aktiver Störstellen an Halbleitergrenzschichten bei varialbler Temperatur

Bestrahlungshalter F-ION A
Selbstbau der Institutswerkstatt

Halter aus Graphit
Bor-Nitrid-Heizplatte über Thermoelement im Innern mittels Tectra-PID-Regler geregelt.

Gleichzeitiges Heizen bis max. 850°C und Bestrahlung mit Protonen im Bereich von MeV,
bei max 3µA

Tieftemperaturmesszelle
mit Closed Cycle Kryostat

Erlaubt elektrische Messungen bei Temperaturen zwischen 20 K und Raumtemperatur
(z.B. Charakterisierung tiefer Störstellen mittels DLTS)

Hochtemperaturofen

Hochtemperatur Diffusionsexperimente in SiC

T_max: ~ 2500°C

Durchflussofen
mit Massenspektrometer

Glühung unter variablen Gasatmosphären
Gasanalyse mittels Massenspektrometer