Direktes Laserschreiben mit Femtosekundenpulsen /
3D Laserlithographie
Wir strukturieren optische Materialien mit Femtosekundenpulsen indem hochenergetische Laserstrahlung aus einem regenerativen Verstärker in transparente Materialien fokussiert wird. Hier klicken um Videos vom Schreibvorgang in Aktion zu sehen.
Die physikalischen Effekte in optischen Materialien bei Beleuchtung mit Femtosekundenpulsen sind unterschiedlich. Es sind jedoch grundsätzlich drei Regime zu unterscheiden:
- Hohe Energie (> 1 muJ): Ablation, Schmelzen und Zerstörung des Materials (Mikrokanäle, Oberflächenstrukturen)
- Mittlere Energie (100 nJ - 1 muJ): Brechungsindexänderung durch Lawinenionisationsprozesse in Gläsern (diffraktive optische Elemente, Wellenleiter, periodische Strukturen)
- Niedrige Energien (< 100 nJ): Zwei-Photonen-Polymerisation in Photopolymeren (Photonische Kristalle, Metamaterialien)
Photonischer Kristall (links); Beugungsgitter (rechts).
Waveguidearray (links); Bragg-Gitter in einem Wellenleiter eingebettet (rechts).
Mikromischer in PMMA (links);
Integrierter Koppler in Quarzglas.
Integrierter Leistungsteiler in Quarzglas.
Beugungsgitter auf einem Laserlinienspiegel (links); Reflexionsgitter in SMF28 Kern(rechts).
Ansprechpartner: Wolfgang Horn