- vacuum technique
- ion, electron, and photon interaction with solid surfaces
- modern analytical methods of surface science (secondary ion mass
spectrometry, laser-postionization of sputtered neutrals, ion scattering
spectroscopy, Rutherford backscattering spectroscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy, low energy electron diffraction, scanning electron microscopy, energy
dispersive x-ray spectroscopy.
- scanning tunnelling microscopy, atomic force microscopy, ellipsometry,
etc.)
- analytical applications in material and biomedical research

Inhaltliche Schwerpunkte:
- Vakuumtechnik
- Wechselwirkung von Ionen, Elektronen und Photonen mit Festkörperoberflächen
- moderne analytische Methoden der Oberflächenphysik
(Sekundärionen-Massenspektrometrie, Lasernachioniserung von zerstäubten Neutralteilchen, Ionen-Streu-Spektroskopie, Rutherfordrückstreuspektroskopie, Röntgenphotoelektronenspektroskopie, Auger-Elektronenspektroskopie, Low Energy Electron Diffraction, Rasterelektronenmikroskopie, Energiedispersive Röntgenanalyse, Rastertunnelmikroskopie, Rasterkraftmikroskopie, Kraftfeldmikroskopie, Ellipsometrie, etc.)
- oberflächenanalytische Anwendungsbeispiele aus den Bereichen der Material- und biomedizinischen Wissenschaften

Kurs im HIS-LSF

Semester: WiSe 2021/22