Westfälische Wilhelms-Universität Münster: Forschungsbericht 2003-2004 - Institut für Medizinische Physik und Biophysik

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2003 - 2004

 

 
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48149 Münster
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Forschungsschwerpunkte 2003 - 2004  
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Elektronenmikroskopie und Analytik
Entwicklung von Hard- und Software für die quantitative Rasterelektronenmikroskopie an dünnen Proben

 
Um quantitative Informationen über Proben zu gewinnen, müssen die Signalelektronen im Rasterelektronenmikroskop (SEM) einzeln detektiert, gezählt, digital gespeichert und verarbeitet werden. Die dazu erforderliche Hard- und Software ist bei kommerziellen SEMs nicht erhältlich. Aus diesem Grunde wurde hardwareseitig für ein hochauflösendes Feldemission-SEM (Typ S-800) ein ringförmiger Dunkelfeld-Detektor entwickelt und getestet. Eine schnelle Elektronik, bestehend aus modifizierten ETD, schnellem Diskriminator und digitalem Zähler (120 MHz) sowie schnelle rauscharme Strom-Spannungswandler (Verstärkung 108 bis 1010 V/A) wurden entwickelt. Die neue Version des PC-kontrollierten Systems erlaubt simultan bis zu 4 analoge und einen digitalen Kanal und Bildformate mit einer Auflösung von maximal 16384 x 16384 Bildpunkten mit 12 bit Tiefe über eine USB 2.0 Schnittstelle zu erfassen. Zusätzlich zu den Bilddaten werden für jedes Bild weitere Parameter während der Abbildung erfasst, die für die quantitative Auswertung benötigt werden.

Zur Quantifizierung der Elektronenstreuung in dünnen Proben wurde ein MATLAB - Monte Carlo Simulationsprogramm entwickelt, das für wählbare Probenparameter (Elementzusammensetzung, Dichte, Dicke) und Untersuchungsparameter (Elektronenenergie, Elektronendosis, Bestrahlungsapertur) die Winkel- und Energieverteilung der transmittierten Elektronen ermittelt. Aus diesen Verteilungen lassen sich für wählbare Detektionsgeometrien die resultierenden Detektorsignale berechnen, was u.a. zur Optimierung der Detektionsgeometrie und zur Berücksichtigung von Nichtlinearitäten in den detektierten Signalen genutzt werden kann. Die entwickelte Software enthält ein Demonstrationsprogramm für die detailierte Darstellung der in der Probe ablaufenden Elektronenstreuprozesse und der sich anschließenden Elektronendetektion zu Lehrzwecken für Studenten.

Mit der entwickelten Instrumentation wird die Dunkelfeldabbildung dünner unkontrastierter organischer Proben, so z.B. gefriergetrockneter Makromoleküle oder Molekülkomplexe, im Transmissionsmode des hochauflösenden SEM bei sehr niedrigen Bestrahlungsdosen möglich. Aus diesen digitalen Dunkelfeldbildern lassen sich mit der neu entwickelten Software außer der Form und Größe der makromolekularen Objekte auch ihre Masse bzw. ihr Molekulargewicht (der Massebereich erstreckt sich über 4 Größenordnungen von etwa 104 bis über 108 Da) sowie weitere charakteristische Parameter wie z.B. die Masse/Länge bei filamentösen Strukturen oder die Masse/Fläche bei Membranen und dünnen Filmen bestimmen; diese Parameter sind für die biophysikalische Charakterisierung der untersuchten Proben sehr hilfreich. Zur weitgehend automatisierten quantitativen Auswertung der digitalen Dunkelfeldbilder und der Darstellung der Ergebnisse wurde ein umfangreiches "user"-freundliches MATLAB-Softwarepaket "MASDET" in Kooperation mit dem M.E. Müller Institut für Mikroskopische Strukturbiologie am Biozentrum der Universität Basel für den PC entwickelt, welches jedoch auch mit den Betriebssystemen "Mac OS" oder "UNIX" verwendet werden kann.

Drittmittelgeber:

Gesellschaft zur Förderung der Westfälischen Wilhelms-Universität zu Münster e.V., Industrie

Beteiligte Wissenschaftler:

Prof. Dr. A. Engel (M.E. Müller Institut für Mikroskopische Strukturbiologie am Biozentrum, Universität Basel, Schweiz), Dr. V. Krzyzanek, Dr. S. Müller (M.E. Müller Institut für Mikroskopische Strukturbiologie am Biozentrum, Universität Basel, Schweiz), Prof. Dr. R. Reichelt (Leiter)

Veröffentlichungen:

Krzyzanek, V., R. Reichelt. MONCA: A New MATLAB Package for Monte Carlo Simulation of Electron Scattering in Thin Specimens in the Energy Range 10 - 200 keV. Microsc. Microanalysis 9(Suppl. 3)(2003)110-111.

Krzyzanek, V., R. Reichelt. MASDET: A new MATLAB package for mass determination of matter using transmitted scattered electrons. Microsc. Microanalysis 9(Suppl. 3)(2003)112-113.

Krzyzanek, V., H. Nüsse, R. Reichelt. Quantitative microscopy with a high-resolution FESEM in the transmission mode. In: 13th European Microscopy Congress. Eds. D. Schryvers, J.-P. Timmermans, Dirk van Dyck, P. van Oostveldt. Publ.: Belgian Society for Microscopy, Liége. 1(2004)391-392.

 

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