Corrensstr. 2/4
48149 Münster
Tel. (02 51) 83-3 35 10
Fax: (02 51) 83-3 35 13
e-mail: iap@uni-muenster.de
WWW: http://www.uni-muenster.de/Physik/AP Direktoren: Prof. Dres. W. Lange, H.-G. Purwins
| Forschungsbericht 1999-2000 | |
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Institut für Angewandte Physik
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Forschungsschwerpunkte 1999 - 2000
Fachbereich 11 - Physik Institut für Angewandte Physik Arbeitsbereich Prof. Dr. H.-G. Purwins | |||
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Präparation von Halbleitern und Halbleiterbauelementen
Die untersuchten Halbleiterproben werden zum Teil in eigener Technologie
hergestellt. Zum Einsatz kommen bei der Präparation der ZnS:Mn-Filme
thermische Verdampfung aus Graphit- und Bornitrid-Quellen,
Elektronenstrahlverdampfung und RF-Magnetron-Sputtern. Für die
Präparation der Si-pnpn-Strukturen stehen Ofenanlagen für Temper-,
Diffusions- und Oxidationsprozesse, eine Reine Werkbank (Klasse 100),
verschiedene Aufdampfanlagen zur Metallisierung der Proben sowie Einrichtungen
für Photolithographieprozesse zur Verfügung.
Drittmittelgeber:
Beteiligte Wissenschaftler: |
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Hans-Joachim Peter