Forschungsbericht 1995-96
	Institut für Physikalische Chemie Schloßplatz 4/7 48149 Münster Tel.: (0251) 83 - 2 34 49 Geschäftsführender Direktor: Prof. Dr. M. Stockhausen

Forschungsschwerpunkte 1995 - 1996 Fachbereich 17 - Chemie Institut für Physikalische Chemie Arbeitsbereich Prof. Dr. H. Züchner

Qualitative und quantitative Analyse von Metallen, Legierungen, Halbleitern und Werkstoffen

In diesem Bereich der Materialforschung werden Metalle, Legierungen und Halbleiter mit Hilfe der modernen oberflächenanalytischen Verfahren (SIMS, SNMS, AES, XPS) und anderer physikalischer Verfahren untersucht und charakterisiert, insbesondere im Hinblick auf ihre Eignung bzw. Anwendung als Spezialwerkstoff. Neu in das Arbeitsprogramm aufgenommen wurde im Berichtszeitraum die Untersuchung und Charakterisierung dünner SiGe- Halbleiterschichten unter besonderer Berücksichtigung des oberflächennahen Bereiches.

Beteiligte Wissenschaftler:

Dipl.-Chem. J. Kintrup, Dipl.-Chem. A. Pyttlik, Dipl.-Chem. L. Opara, Prof. Dr. H. Züchner (Leiter)

Veröffentlichungen:

Kintrup, J., H. Züchner: XPS Investigations on Solid and Vacuum Deposited, Oxidized and Non-oxidized Palladium, Z. Naturforsch., 50 a, 381-387, 1995