Fachbereich 11 - Physik
Physikalisches Institut
Elektronenmikroskopie (Prof. H. Kohl)

Rasterelektronenmikroskopie

Zur Deutung der Kontrasterscheinungen im Rasterelektronenmikroskop untersuchen wir die Winkel- und Energieverteilung der rückgestreuten und der emittierten Sekundärelektronen als Funktion der Primärenergie der eingestrahlten Elektronen. Die dabei gewonnenen Erkenntnisse wurden für die Entwicklung eines tomographischen Verfahrens genutzt, welches eine zerstörungsfreie, tiefenempfindliche Abbildung von Festkörpern (z.B. Halbleitern) erlaubt. Der Vergleich unserer Meßergebnisse mit entsprechenden Simulationsrechnungen zeigt eine zufriedenstellende Übereinstimmung.

Drittmittelgeber:

DFG

Beteiligte Wissenschaftler:

Dipl.-Phys. H. Hoffmeister, Prof. Dr. H. Kohl, Dipl.-Phys. K.H. Krämer, Prof. Dr. E. Rau (U Moskau), Prof. Dr. L. Reimer, Dipl.-Phys. R. Sennov (U Moskau)

Veröffentlichungen:

E. Rau, H. Hoffmeister, R. Sennov und H. Kohl: Comparison of experimental and Monte Carlo simulated BSE spectra of multilayered structures and 'in-depth' measurements in a SEM, J. Phys. D: Appl. Phys. 35 (2002) 1433-1437