Forschungsbericht 1995-96 | |
Institut für Theoretische Physik II - Festkörperphysik - Wilhelm-Klemm-Straße 10 48149 Münster Tel. (02 51) 83 - 3 35 88 / - 3 35 81 Direktoren: Prof. Dres. T. Kuhn, J. Pollman | |
Forschungsschwerpunkte 1995 - 1996 Fachbereich 16 - Physik Institut für Theoretische Physik II - Festkörperphysik - Lehrstuhl Prof. Dr. J. Pollmann gemeinsam mit Hdoz. Dr. P. Krüger |
Theorie der Adsorption und des Wachstums von Halbleiteroberflächen
Mit Hilfe der Chemical Vapor Deposition (CVD) gewachsene Diamantfilme haben großes
Potential für die Hochleistungs- und Hochtemperatur-Elektronik. Ein grundlegendes,
mikroskopisches Verständnis des Wachstumsprozesses solcher Filme ist für die
Produktion von qualitativ hochwertigen Bauelementen ganz essentiell. Koadsorbierter
Wasserstoff hat sich als außerordentlich förderlich für das Wachstum von
Diamantfilmen erwiesen, während das Wachstum von Si durch koadsorbierten
Wasserstoff massiv unterdrückt wird. Dieses sehr interessante Phänomen ist im
Detail noch völlig unverstanden. Verschiedene Modelle solcher Wachstumsprozesse
werden in der Literatur diskutiert. Jedoch ist die Rolle des Wasserstoffs als
Oberflächenbildner (surfactant) bei Diamantfilmen noch nicht gut verstanden. In diesem
Projekt wurden mit Hilfe unserer streutheoretischen Methode unter Verwendung von
Elektronen-Greenfunktionen zunächst die (2x1)-rekonstruierten (001) Oberflächen
der Substrate Diamant, Si und auch Ge bezüglich ihrer elektronischen und strukturellen
Eigenschaften untersucht, um danach die Adsorption von Kohlenstoff auf wasserstoff-
bedeckten C(001) Oberflächen im Hinblick auf das Diamantwachstum zu studieren. Eine
Fülle denkbarer Wachstumspfade muß im Konfigurationsraum der totalen Energie
untersucht werden, so daß es sich hier um extrem zeitaufwendige Studien handelt.
Drittmittelgeber:
Beteiligte Wissenschaftler:
Hans-Joachim Peter