Elektronenmikroskopie (Prof. Dr. H. Kohl) Rasterelektronenmikroskopie
Zur Deutung der Kontrasterscheinungen im Rasterelektronenmikroskop untersuchen wir die Winkel- und
Energieverteilung der rückgestreuten und der emittierten Sekundärelektronen als Funktion der
Primärenergie der eingestrahlten Elektronen. Die dabei gewonnenen Erkenntnisse wurden für die
Entwicklung eines tomographischen Verfahrens genutzt, welches eine zerstörungsfreie, tiefenempfindliche
Abbildung von Festkörpern (z.B. Halbleitern) erlaubt. Der Vergleich unserer Meßergebnisse
mit entsprechenden Simulationsrechnungen zeigt eine zufriedenstellende Übereinstimmung.