Afm

AFM

Park Systems XE-100

Entkoppelte X-Y und Z Scanner zur Unterdrückung einer Bildverzerrung

Vermessung Nanoindents,
Abtastung von Oberflächenrauhigkeit
,

Scanning Spreading Resistance MicroscopyKelvin Probe Microscopy

Keithley

Keithley 4200 SCS

  • Aufnahme von CV und IV Kennlinien
  • (capacitance-voltage unit 4200 CVU & zwei DC source-measure units 4200 SMU)
  • digitales Speicheroszilloskop (SCP2)
  • Pulsgenerator 4205 PG

Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Halbleiterstrukturen

Potentiogalvano

Potentiostat/Galvanostat
mit Korrosionsmesszelle

Metrohm Autolab PGSTAT128N

Module für Impedanzspektroskopie und Temperaturmessungen / pH-Messungen

Elektrochemische Korrosionsuntersuchungen

Spreading

Spreading Resistance Profiler
ASR - 100B

SOLID STATE MEASUREMENT INC

Tiefenaufgelöste zwei Spitzen-Widerstandsmessung zur Ermittlung von Dotierstoffprofilen in Halbleitern

Wasserstoffpassivierung

Wasserstoffpassivierungsanlage

Erzeugung eines Wasserstoffplasmas zur Passivierung elektrisch aktiver Störstellen an Halbleitergrenzschichten bei varialbler Temperatur

Fion69

Bestrahlungshalter F-ION A
Selbstbau der Institutswerkstatt

Halter aus Graphit
Bor-Nitrid-Heizplatte über Thermoelement im Innern mittels Tectra-PID-Regler geregelt.

Gleichzeitiges Heizen bis max. 850°C und Bestrahlung mit Protonen im Bereich von MeV,
bei max 3µA

Kryostat

Tieftemperaturmesszelle
mit Closed Cycle Kryostat


Erlaubt elektrische Messungen bei Temperaturen zwischen 20 K und Raumtemperatur
(z.B. Charakterisierung tiefer Störstellen mittels DLTS)

Sic-ofen
Hochtemperaturofen
Hochtemperatur Diffusionsexperimente in SiC
Tmax: ~ 2500°C
Ofen-kirsten

Durchflussofen
mit Massenspektrometer


Glühung unter variablen Gasatmosphären
Gasanalyse mittels Massenspektrometer

Zehnzonenofen
Zehn-Zonen-Ofen

Widerstandsofen mit bis zu
zehn separat regelbaren Heizzonen

Tmax: 1300°C