Der Themenkomplex „Nanostrukturen" eröffnet sowohl der Grundlagenforschung als auch der angewandten Forschung faszinierende Möglichkeiten: Bei ausreichend kleinen Abmessungen besitzen Festkörperstrukturen, verglichen mit ausgedehnten makro-sko-pischen Systemen, signifikant veränderte optische, elektronische und magnetische Eigenschaften. Vorraussetzung ist allerdings ein kontrolliertes Wachstum solcher Nanostrukturen mit definierten Oberflächen. Größenkontrollierte Siliziumnanokristalle und das Wachstum von Arrays von Nanodrähten (Si, ZnO) werden als Beispiele ausge-wählt und im Vortrag sowohl im Wachstum als auch in ausgewählten Eigenschaften diskutiert.